机构名称：
¥ 1.0
实际上，情况并非如此简单，大量变量影响了膜的性质，例如激光流利度，背景气体基板温度，底物表面的粗糙度，消融材料的电离密度等。这些变量在一定程度上操纵膜特性。但是，优化可能需要大量的时间和精力。的确，对PLD的早期研究的大部分研究都集中在单个材料和应用的沉积条件的经验优化上，而无需试图了解材料从目标转移到底物时发生的过程。通常使用femto第二激光激光器来沉积薄膜的薄膜，较小的纳米米厚度。脉冲激光沉积机的示意图如图所示。
真空沉积：-CT Physics
主要关键词
相关文件推荐
