1 pfaffenwaldring 9,70569德国Stuttgart 2 Stuttgart Photonic Engineering(Scope)Stuttgart Stuttgart研究中心,Stuttgart,Stuttgart,Pfaffenwaldring 57,70569 Stuttgart,70569 Stuttgart,3 printtix optra, 70176德国Stuttgart 4生物材料与生物分子系统研究所(IBBS),Stuttgart大学,Pfaffenwaldring 57,70569德国Stuttgart,德国5 Stuttgart Research Center Systems Systems Biology(SRCSB) 15,70569德国斯图加特6第4物理学院(PI4),斯图加特大学,pfaffenwaldring 57,70569德国斯图特加特,德国7室内进程工程工程和等离子体技术研究所(IGVP) 12,70569德国斯图加特8 michael.heymann@bio.uni-stuttgart.de * andrea.toulouse@ito.uni.uni-stuttgart.depfaffenwaldring 9,70569德国Stuttgart 2 Stuttgart Photonic Engineering(Scope)Stuttgart Stuttgart研究中心,Stuttgart,Stuttgart,Pfaffenwaldring 57,70569 Stuttgart,70569 Stuttgart,3 printtix optra, 70176德国Stuttgart 4生物材料与生物分子系统研究所(IBBS),Stuttgart大学,Pfaffenwaldring 57,70569德国Stuttgart,德国5 Stuttgart Research Center Systems Systems Biology(SRCSB) 15,70569德国斯图加特6第4物理学院(PI4),斯图加特大学,pfaffenwaldring 57,70569德国斯图特加特,德国7室内进程工程工程和等离子体技术研究所(IGVP) 12,70569德国斯图加特8 michael.heymann@bio.uni-stuttgart.de * andrea.toulouse@ito.uni.uni-stuttgart.depfaffenwaldring 9,70569德国Stuttgart 2 Stuttgart Photonic Engineering(Scope)Stuttgart Stuttgart研究中心,Stuttgart,Stuttgart,Pfaffenwaldring 57,70569 Stuttgart,70569 Stuttgart,3 printtix optra, 70176德国Stuttgart 4生物材料与生物分子系统研究所(IBBS),Stuttgart大学,Pfaffenwaldring 57,70569德国Stuttgart,德国5 Stuttgart Research Center Systems Systems Biology(SRCSB) 15,70569德国斯图加特6第4物理学院(PI4),斯图加特大学,pfaffenwaldring 57,70569德国斯图特加特,德国7室内进程工程工程和等离子体技术研究所(IGVP) 12,70569德国斯图加特8 michael.heymann@bio.uni-stuttgart.de * andrea.toulouse@ito.uni.uni-stuttgart.depfaffenwaldring 9,70569德国Stuttgart 2 Stuttgart Photonic Engineering(Scope)Stuttgart Stuttgart研究中心,Stuttgart,Stuttgart,Pfaffenwaldring 57,70569 Stuttgart,70569 Stuttgart,3 printtix optra, 70176德国Stuttgart 4生物材料与生物分子系统研究所(IBBS),Stuttgart大学,Pfaffenwaldring 57,70569德国Stuttgart,德国5 Stuttgart Research Center Systems Systems Biology(SRCSB)15,70569德国斯图加特6第4物理学院(PI4),斯图加特大学,pfaffenwaldring 57,70569德国斯图特加特,德国7室内进程工程工程和等离子体技术研究所(IGVP)12,70569德国斯图加特8 michael.heymann@bio.uni-stuttgart.de * andrea.toulouse@ito.uni.uni-stuttgart.de
基于我们在去年所证明的成功的单光子3D光场光刻学,我们将方法扩展到了飞秒3D光场光刻。与我们以前的单光子与紫外线LED光的工作相比,使用飞秒光和3D光场光刻中相关的两光子光吸收可以仅在3D空间中设计的Voxel位置周围固化光线剂。这样的两光子方案可以防止在到达设计的体素位置之前,在我们以前的基于UV LED LED的单光子3D灯场光谱术中观察到,在到达设计的体素位置之前,光孔物的光孔疗法固化。飞秒两杆3D光场光刻的实验方案从将均匀的飞秒激光脉冲传递到空间光调节器开始。设计的像素映射显示在空间灯调制器上,然后传递到Microlens阵列中以在自由空间中构造3D虚拟图像。通过使用显微镜系统在光构仪层中压缩3D虚拟图像,我们可以成功生成不同的显微镜3D模式,而无需像传统的3D光刻一样依赖扫描过程。在这项研究中,我们介绍了(a)为使用飞秒光的3D模式开发的(a)算法的初步结果,当使用飞秒光线时,该算法应满足其他约束,并且((b)具有fletoResists生成的3D模式,具有flemtosecond femtsecond thepsocond Photon 3D 3D Light Field Field Field Figh Figh Figh Figh Figh Field Littionshophation。
相对于激光束。图 2a 描绘了 FLW 过程的图形表示。FLW 是一种串行制造技术,与光刻相比可能并不适合大规模生产。然而,它的速度和简单性使其成为至少在量子技术等快速发展领域中规模生产的有吸引力的选择。可以实现的折射率变化很小,因此设备不如硅或氮化硅等其他平台那么小型化。然而,FLW 因允许三维电路布局(图 2b-c)、与玻璃以外的各种材料兼容(促进复合设备的混合集成)以及与标准光纤的低损耗连接而脱颖而出。FLW 只是通过超短激光脉冲与透明材料的非线性相互作用实现的几种微加工工艺之一。另一个例子是飞秒激光烧蚀,它可以精确去除材料,从而形成三维微结构,如图 2a 所示的微沟槽。将飞秒激光烧蚀与激光烧蚀相结合,可以提高集成光子器件的性能,例如可编程光子集成电路 [5],它集成了波导、电可编程干涉仪和空心结构,从而实现了非常低的
2000 年代初频率梳的出现彻底改变了光学频率(即几百太赫兹)的计量学,并刺激了以光学跃迁为参考的新一代原子钟的发展。这些梳子由飞秒脉冲激光器制成,是当今在光域时钟与微波域主要标准之间以及在不同频率运行的两个光时钟之间进行频率比较的最有效、最可靠的方法。在本文中,我们介绍了 LNE-SYRTE 开展的各种工作,旨在表征这些设备,并使它们达到一定的性能水平,从而不会限制使用实验室时钟进行的测量。
摘要。集成的光子学引起了广泛的关注,并且在经典和量子光学器件中发现了许多应用,从而满足了现代光学实验和大数据通信中不断增长的复杂性的要求。femtsecond(FS)激光直接写入(FLDW)是一种公认的技术,用于在透明玻璃中生产波导(WGS),这些技术已用于构造复杂的集成光子设备。fldw具有独特的特征,例如三维制造几何形状,快速原型和单步制造,这对于集成通信设备以及量子光子和天体技术技术很重要。为了充分利用FLDW,已经做出了相当大的努力,以在较大的深度上产生WG,而传播损失较低,耦合损失,弯曲损失和高度对象模式场。我们总结了具有可控的横截面形态,高度对称模式领域,低损失以及高处理统一性和效率的可控形态的高性能WGS的机制,并讨论WGS在光学集成设备中的WG最近进展,以进行通信,拓扑,量化物理学,量子,量子信息,量词,天文学处理和天文学。还指出了该领域的未来挑战和未来的研究指示。
摘要。利用飞秒光纤激光器在空气中钻孔和切割微孔。首先,研究了透明(玻璃)和不透明(金属和组织)材料中的微孔钻孔。用光学和扫描电子显微镜对孔的形状和形貌进行了表征和评估。演示了长宽比为 8 ∶ 1 的无碎片、圆度好、无热损伤的微孔。还演示了在硬组织和软组织中钻孔微孔,没有裂纹或附带热损伤。然后,研究了不同材料的沟槽微加工和切割,并研究了激光参数对沟槽性能的影响。获得了笔直、干净的沟槽边缘,没有热损伤。© 作者。由 SPIE 根据知识共享署名 3.0 未移植许可证发布。分发或复制本作品的全部或部分需要完全署名原始出版物,包括其 DOI。 [DOI: 10.1117/1.OE .53.5.051513 ]
摘要。利用飞秒光纤激光器在环境空气中实现了微孔钻孔和切割。首先,研究了透明(玻璃)和不透明(金属和组织)材料中的微孔钻孔。利用光学和扫描电子显微镜对孔的形状和形貌进行了表征和评估。演示了长宽比为 8 ∶ 1 的无碎片、圆度好且无热损伤的微孔。还演示了在硬组织和软组织中无裂纹或附带热损伤的微孔钻孔。然后,研究了不同材料的沟槽微加工和切割,并研究了激光参数对沟槽性能的影响。获得了笔直、干净的沟槽边缘,没有热损伤。© 作者。由 SPIE 根据知识共享署名 3.0 未移植许可证发布。分发或复制本作品的全部或部分内容需要完全署名原始出版物,包括其 DOI。 [DOI:10.1117/1.OE .53.5.051513]
微纳米加工是先进制造的重要组成部分,是高端制造水平的标志(Sugioka,2019)。飞秒激光加工技术的出现给微纳米加工领域带来了革命性的变化(Zheng et al.,2020;Mastellone et al.,2020;Xie et al.,2021;Yan et al.,2021;Zhang et al.,2022;He et al.,2022)。飞秒激光具有极窄的脉冲宽度和很高的峰值功率,加工时能量在很短的时间内与材料相互作用(Chichkov et al.,1996;Meng et al.,2019;Hua et al.,2022)。由于其非线性吸收特性,可在焦点处实现真三维高精度加工(Khuat等,2014;Li等,2020)。飞秒激光烧蚀可用于在金属(Davydov and Antonov,2017)、半导体(Ionin等,2012;Li等,2020)、陶瓷(Perrie等,2005)等材料(Gui等,2004;Burghoff等,2006;Lin等,2015)表面制备微纳米结构,展示出其优异的微加工能力。在
摘要。利用飞秒光纤激光器在空气中钻孔和切割微孔。首先,研究了透明(玻璃)和不透明(金属和组织)材料中的微孔钻孔。用光学和扫描电子显微镜对孔的形状和形貌进行了表征和评估。演示了长宽比为 8 ∶ 1 的无碎片、圆度好、无热损伤的微孔。还演示了在硬组织和软组织中钻孔微孔,没有裂纹或附带热损伤。然后,研究了不同材料的沟槽微加工和切割,并研究了激光参数对沟槽性能的影响。获得了笔直、干净的沟槽边缘,没有热损伤。© 作者。由 SPIE 根据知识共享署名 3.0 未移植许可证发布。分发或复制本作品的全部或部分需要完全署名原始出版物,包括其 DOI。 [DOI: 10.1117/1.OE .53.5.051513 ]
摘要。利用飞秒光纤激光器在空气中钻孔和切割微孔。首先,研究了透明(玻璃)和不透明(金属和组织)材料中的微孔钻孔。用光学和扫描电子显微镜对孔的形状和形貌进行了表征和评估。演示了长宽比为 8 ∶ 1 的无碎片、圆度好、无热损伤的微孔。还演示了在硬组织和软组织中钻孔微孔,没有裂纹或附带热损伤。然后,研究了不同材料的沟槽微加工和切割,并研究了激光参数对沟槽性能的影响。获得了笔直、干净的沟槽边缘,没有热损伤。© 作者。由 SPIE 根据知识共享署名 3.0 未移植许可证发布。分发或复制本作品的全部或部分需要完全署名原始出版物,包括其 DOI。 [DOI: 10.1117/1.OE .53.5.051513 ]