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摘要。利用飞秒光纤激光器在环境空气中实现了微孔钻孔和切割。首先，研究了透明（玻璃）和不透明（金属和组织）材料中的微孔钻孔。利用光学和扫描电子显微镜对孔的形状和形貌进行了表征和评估。演示了长宽比为 8 ∶ 1 的无碎片、圆度好且无热损伤的微孔。还演示了在硬组织和软组织中无裂纹或附带热损伤的微孔钻孔。然后，研究了不同材料的沟槽微加工和切割，并研究了激光参数对沟槽性能的影响。获得了笔直、干净的沟槽边缘，没有热损伤。© 作者。由 SPIE 根据知识共享署名 3.0 未移植许可证发布。分发或复制本作品的全部或部分内容需要完全署名原始出版物，包括其 DOI。 [DOI：10.1117/1.OE .53.5.051513]
利用飞秒光纤激光器进行微孔钻孔和切割
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