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微纳米加工是先进制造的重要组成部分，是高端制造水平的标志（Sugioka，2019）。飞秒激光加工技术的出现给微纳米加工领域带来了革命性的变化（Zheng et al.，2020；Mastellone et al.，2020；Xie et al.，2021；Yan et al.，2021；Zhang et al.，2022；He et al.，2022）。飞秒激光具有极窄的脉冲宽度和很高的峰值功率，加工时能量在很短的时间内与材料相互作用（Chichkov et al.，1996；Meng et al.，2019；Hua et al.，2022）。由于其非线性吸收特性，可在焦点处实现真三维高精度加工（Khuat等，2014；Li等，2020）。飞秒激光烧蚀可用于在金属（Davydov and Antonov，2017）、半导体（Ionin等，2012；Li等，2020）、陶瓷（Perrie等，2005）等材料（Gui等，2004；Burghoff等，2006；Lin等，2015）表面制备微纳米结构，展示出其优异的微加工能力。在
飞秒激光诱导透明材料纳米光栅研究进展
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