麦克风根据MEMS技术制造,由于其微型尺寸,由于温度变化而导致低能消耗,因此发现了新的应用(微电动机械系统)。在物联网技术传播之后,微型高效MEMS麦克风对医疗设备的需求增加了[1]。对人体特征的持续监测al-lows在早期阶段检测健康问题并找到及时的医疗治疗。例如,第[2]介绍了血压与第二心脏声音S2之间相关性的研究结果。可以通过测量音调心脏的声音来检查血压。但是,大多数MEMS微型型可以彻底处理声频范围(20-20000 Hz)。此外,血压脉冲频率构成1.5–2.1 Hz [3]。因此,开发可具有1到20 Hz的适当电特性的低频MEMS麦克风已成为一项关键任务。
超过这些“绝对最大额定值”的应力可能会对设备造成永久性损坏。这些仅为应力额定值。在这些条件下或“声学和电气规格”中指示的任何其他条件下,不暗示功能操作。长时间暴露在“声学和电气规格”中指示的条件之外可能会影响设备可靠性。
摘要:在过去的几十年中,微机电麦克风在很大程度上占据了便携式设备的市场,每年都有数十亿美元的生产。因为当前设备的性能接近物理限制,因此进一步的小型化和移动设备的麦克风的改进构成了一个重大挑战,需要突破设备概念,几何形状和材料。石墨烯是一种有吸引力的材料,可通过其灵活性,强度,纳米薄度和高电导率来实现这些突破。在这里,我们证明,直径范围从85-155到300μm的直径为直径的无传递7 nm厚的多层石墨烯(MLGR)膜可用于检测声音,并显示出与92 nm pa-1的机械合规性,因此超过950 nm的92 nm PA-1,因此超过了950 nm的Mems Microphone,均超过了3 nM的3 nM。显示出较大的膜,直径为300μm甚至更高的符合性,尽管产量较低。我们提出了一个在硅晶片上局部生长的石墨烯的过程,并通过散装微加工和牺牲层蚀刻的散装式硅质孔实现悬浮的图案化石墨烯的悬浮膜,因此无需传递。这种无转移方法可在132个制造的鼓上的直径高达155μm的膜产量为100%。可听见范围内机械符合性的设备对设备变化(20 - 20000 Hz)比转移的膜中的设备依从性变化明显小。关键字:石墨烯,麦克风,膜,mem,免费转移,晶圆量表,大量生产■简介在这项工作中,我们展示了一种无转移方法,用于实现与大容量制造兼容的晶圆尺度多层石墨烯。因此,基于聚合物污染,裂纹形成,皱纹,折叠,分层和低压可重复性的基于转移的方法的局限性在很大程度上是规避的,从而在朝着高量产生的石墨烯麦粒镜上的途径上树立了重大步骤。
简介 ................................................................................................................ 2 – 7 设计说明 .............................................................................................................. 2 – 7 材料和工艺要求 .............................................................................................................. 2 – 9 传导原理 .............................................................................................................. 2 – 11 振膜和空气刚度 ...................................................................................................... 2 – 15 静压均衡 ............................................................................................................. 2 – 16 低频响应和通风口位置 ............................................................................................. 2 – 17 高频响应 ............................................................................................................. 2 – 20 麦克风灵敏度 ............................................................................................................. 2 – 24 通过等效电路进行麦克风建模 ............................................................................. 2 – 25 振膜系统的声阻抗 ............................................................................................. 2 – 27 振膜系统的等效体积 ............................................................................................. 2 – 28
Parameter Symbol Conditions Min Typ Max Units Supply VoltageVdd1.621.81.98VLow Frequency RolloffLFRO-3dB relative to 1 kHz-20-HzHigh Frequency Flatness+3dB relative to 1 kHz-15-kHzResonant Frequency PeakFresFree Field response-29-kHzLatency@ 4kHz, Fclock = 2.4 MHz-3-μsDC OffsetSEL = 0 / SEL = 1: Fullscale = ±100%-0.0 / -0.39-%DirectivityOmnidirectionalPolarityIncreasing sound pressureIncreasing density of 1'sData Format½ Cycle PDMSensitivity DropVdd(min) ≤ Vdd ≤ Vdd(max)--±0.25dBClock Input CapacitanceCin-8-pFData Output CapacitanceCout-60-pFData Output LoadCload--110pFSELECT (high)Vdd-0.2-VddVSELECT (low)-0.3-0.2VShort Circuit CurrentIscGrounded DATA pin1-20mAFall-asleep Time3,4Fclock < 1kHz--10msWake-up Time3,5Fclock ≥ 380kHz--20msStartup Time3Powered Down →活动,最终值的1dB不超出20mstime到第一个数据位,从有效的VDD和CLK到第一个逻辑位在数据线上驱动到第一个逻辑位。输出为直到第一个数据位为止。初始输出位代表静音音频。音频数据将遵循启动时间。23MMSMODE-CHANGE TIME3,6LOW POWER MODE模式⇔快速模式 - 20ms
选择麦克风及其用途,需要对麦克风的认识和理解,以及对声音和环境声学的迫切需要,以及麦克风系统的特性。 Cet 文章指出了建议的方法和提出的建议、有关情况的基础,以及对 moteurs et d'avions 的影响的论述,以及选择等(“麦克风的使用。麦克风与空气冷凝器的特性,在环境定义中,对 leur 进行评估”)需要考虑麦克风的尾部、位置、方向和方向等问题。
可以使用调幅激光在 MEMS 麦克风的输出端生成虚假但相干的声学信号。虽然这种漏洞会对信任这些麦克风的网络物理系统的安全性产生影响,但这种影响的物理解释仍然是个谜。如果不了解导致这种信号注入的物理现象,就很难设计出有效可靠的防御措施。在这项工作中,我们展示了热弹弯曲、热扩散和光电流产生机制在多大程度上被用于将信号注入 MEMS 麦克风。我们为每种机制都提供了模型,开发了一种程序来经验性地确定它们的相对贡献,并强调了对八种商用 MEMS 麦克风的影响。我们通过使用几种激光波长和一个真空室的精确设置来隔离每种机制来实现这一点。结果表明,麦克风上的注入信号取决于入射光的波长,其中长波长(例如 904 nm 红外激光)利用 ASIC 上的光电效应,而短波长(例如 450 nm 蓝色激光)利用振膜和周围空气上的光声效应。根据这一理解,我们为未来的抗激光麦克风设计提出了建议,包括改进球顶应用、减少 MEMS 结构内的材料不对称性,以及添加简单的光或温度传感器以进行注入检测。基于根本的因果关系,我们还指出了具有与 MEMS 麦克风相似特性的其他传感器中可能存在的漏洞,例如传统麦克风、超声波传感器和惯性传感器。
广播 远距离广播 中距离广播 无源扬声器 低音扬声器 自动扩音扬声器 监听扬声器 100 V 线路扬声器 独立扬声器 防水扬声器 放大器 100 V 线路放大器 CONTROL 模拟调音台 数字调音台 Stages Box Dante DJ MICROS HF连接 HF 广播连接 HF 配件 电容式麦克风 直接盒式鹅颈麦克风PZM 麦克风 动圈麦克风 头戴式和领夹式麦克风 信号源 声音外围设备 动圈处理器和效果器 其他音频 支架和扬声器支架 麦克风支架
SSCVR 提供与标准麦克风监视器或远程区域麦克风和前置放大器的接口,如第 6.1 段所述。麦克风监视器是一种安装在仪表板上的小型设备,用于放置在驾驶舱环境音频环境中。它包括一个内置区域麦克风,用于转换驾驶舱区域音频频谱(机组人员对话和环境声音,如发动机、执行器或控制开关切换),以便在 SSCVR 的区域麦克风通道上进行记录。除了接收和调节驾驶舱音频外,麦克风监视器还提供几个与驾驶舱语音记录器相关的状态指示器和控件。这些描述如下: