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摘要：在过去的几十年中，微机电麦克风在很大程度上占据了便携式设备的市场，每年都有数十亿美元的生产。因为当前设备的性能接近物理限制，因此进一步的小型化和移动设备的麦克风的改进构成了一个重大挑战，需要突破设备概念，几何形状和材料。石墨烯是一种有吸引力的材料，可通过其灵活性，强度，纳米薄度和高电导率来实现这些突破。在这里，我们证明，直径范围从85-155到300μm的直径为直径的无传递7 nm厚的多层石墨烯（MLGR）膜可用于检测声音，并显示出与92 nm pa-1的机械合规性，因此超过950 nm的92 nm PA-1，因此超过了950 nm的Mems Microphone，均超过了3 nM的3 nM。显示出较大的膜，直径为300μm甚至更高的符合性，尽管产量较低。我们提出了一个在硅晶片上局部生长的石墨烯的过程，并通过散装微加工和牺牲层蚀刻的散装式硅质孔实现悬浮的图案化石墨烯的悬浮膜，因此无需传递。这种无转移方法可在132个制造的鼓上的直径高达155μm的膜产量为100％。可听见范围内机械符合性的设备对设备变化（20 - 20000 Hz）比转移的膜中的设备依从性变化明显小。关键字：石墨烯，麦克风，膜，mem，免费转移，晶圆量表，大量生产■简介在这项工作中，我们展示了一种无转移方法，用于实现与大容量制造兼容的晶圆尺度多层石墨烯。因此，基于聚合物污染，裂纹形成，皱纹，折叠，分层和低压可重复性的基于转移的方法的局限性在很大程度上是规避的，从而在朝着高量产生的石墨烯麦粒镜上的途径上树立了重大步骤。
无敏感的无转移晶片尺度石墨烯麦克风
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