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麦克风根据MEMS技术制造，由于其微型尺寸，由于温度变化而导致低能消耗，因此发现了新的应用（微电动机械系统）。在物联网技术传播之后，微型高效MEMS麦克风对医疗设备的需求增加了[1]。对人体特征的持续监测al-lows在早期阶段检测健康问题并找到及时的医疗治疗。例如，第[2]介绍了血压与第二心脏声音S2之间相关性的研究结果。可以通过测量音调心脏的声音来检查血压。但是，大多数MEMS微型型可以彻底处理声频范围（20-20000 Hz）。此外，血压脉冲频率构成1.5–2.1 Hz [3]。因此，开发可具有1到20 Hz的适当电特性的低频MEMS麦克风已成为一项关键任务。
用于医疗应用的电容性mems麦克风
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