机构名称：
¥ 3.0
当尺寸减小到 0.6 μm 时，微处理器的速度可以提高到 100 MHz 或更高 [32]。在制造过程中必须监测 CD 和其他尺寸。光学显微镜、扫描电子显微镜和各种形式的扫描探针显微镜是用于亚微米计量的主要显微镜技术。光学显微镜无疑是这三种显微镜中最古老的一种，已存在 300 多年。在此期间，光学显微镜的方法已经相当成熟。但是，即使有这些时间和研究致力于开发这项技术，光学亚微米计量仍然有局限性 [72]。这些是光的物理基础属性。一旦认识到这些限制，人们就认为电子显微镜将成为亚微米计量的首选计量工具。不幸的是，
扫描电子显微镜计量学中的关键问题
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