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Sensirion 已开发出一种基于其气流传感器技术(称为 CMOSens)的热电堆芯片。该技术允许将 CMOS 数字和模拟功能与在金属层中制造的非常薄的膜集成在一起。CO2 气体传感器的技术不仅在硅片中。封装和红外滤光片对于测量的准确性非常重要。
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