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本论文的目的是开发一种尽可能精确和可靠的 SEM 图像 3D 计量技术。为此，博士生将利用计算光刻小组的理论和模拟资源来改进和开发新的 SEM 成像模型。这些模型的范围很广，从微米级物体的模拟到纳米级结构。博士生将在一组多立体 SEM 图案图像上训练 SEM 模型，这些图案的 3D 形貌将通过 3D 参考计量技术进行测量。然后，他将研究 3D 重建的不同数学策略，以实现快速收敛和质量。
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