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SVC 正性光刻胶剥离剂和聚合物去除剂是环保配方，可替代标准有毒溶剂。建议在晶圆加工设备中检查材料兼容性。根据全面的材料兼容性测试，不兼容的材料会出现重量增加、重量减轻、形状变化或变色的情况。下表基于在高温（80°C）下进行为期一周的浸没测试。使用前，应验证过滤器、过滤器外壳、水箱材料、工艺管道（阀门、泵等）和 O 形圈中材料的兼容性。需要定期执行标准 PM（预防性维护）程序以识别和更换磨损的组件。
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