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谐振器在集成光子学领域引起了广泛关注。早在 1969 年,贝尔实验室的 Marcatili 就提出了微环谐振器 [1]。由于制备技术的先进,集成微环谐振器在过去的几十年中取得了长足的发展。与其他类型的谐振器相比,微环谐振器有许多优点。首先,不需要镜子或光栅来获得光反馈;因此,微环谐振器制作起来不那么困难,非常适合片上光学集成。其次,微环谐振器是行波谐振器,输入、透射和反射的光路是分开的,使其与其他光学元件很好地兼容。第三,多个微环谐振器可以串联或并联耦合以实现盒状响应和大的自由光谱范围(FSR),使其在密集波分复用系统中非常有前景。

微环谐振器

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