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PHYS 421 - 纳米加工的材料安全和设备概述 - NMT 311 本课程概述了基本的纳米加工加工设备和材料处理程序，重点关注安全、环境和健康问题。涵盖的主题包括：洁净室操作、环境、安全和健康问题、真空泵系统操作、环境安全和健康问题（涵盖直接驱动机械、罗茨鼓风机、涡轮分子和干式机械系统）；热处理设备操作、安全、环境和健康问题（涵盖水平、垂直、快速热退火工具）；化学气相沉积系统操作、安全、环境和健康问题（涵盖气体输送、腐蚀性和易燃气体储存和管道、调节器和质量流量控制器）；真空沉积/蚀刻系统操作、安全、环境和健康问题（涵盖微波和射频电源和调谐器、加热和冷却装置、真空计、阀门和过程控制器）。具体的材料处理问题包括使用去离子水、溶剂、清洁剂、有机材料、离子实施源、扩散源、光刻胶、显影剂、金属电介质和有毒、易燃、腐蚀性和高纯度气体以及包装材料引起的问题。
物理学（PHYS）
主要关键词
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