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2007 年 11 月，Roth & Rau 的光伏和微电子部门搬迁至独立的工厂。从那时起，Roth & Rau MicroSystems 品牌就代表着微电子和光学行业离子束和等离子技术应用的高度专业化设备。Roth & Rau MicroSystems 位于萨克森州的 Hohenstein-Ernstthal，靠近德国微电子工业的中心。45 名受过高等教育的工艺技术和系统工程员工以及 15 名机械制造员工是独特制造设备成功的关键。3500 平方米的制造区域和办公空间以及 10000 级洁净室（包括自己的计量功能）为系统组装和技术开发提供了良好的环境。Roth & Rau MicroSystems 最近提供两条重要的产品线。离子束技术的高端解决方案包括用于局部离子束修整的 IonScan 系统和用于离子束铣削和离子束沉积的 IonSys 系统。在等离子技术中，PECVD 和 RIE 应用得到解决。MicroSys 利用 AK 平台制造大面积工艺系统，提供基于晶圆的系统。除了这些标准平台外，还制造用于 TCO 涂层的卷对卷机器等系统。Roth & Rau MicroSystems 的产品由所有相关微电子市场的专业合作伙伴分销和服务。有关相应合作伙伴的联系信息，请参阅随附的传单。2008 年展览
Roth & Rau MicroSystems 3 月 8 日
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