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的工作表明,整个清洁室空气的控制是必不可少的,不仅在清洁度(无颗粒),温度和湿度方面,而且在房间内的空气流动方向方面。为了实现对气流的全部控制,惠特菲尔德开发了层流层清洁室。在此设施中,通过HEPA过滤器将大量空气引入了房间。过滤库充当大型空气供应扩散器,并大大降低了供应空气的速度。空气倾向于以最小的湍流和单向方式离开过滤器。然后,这种空气通过一系列的格栅从房间用尽了,这些格栅的面积与入口扩散器的面积相等。空气流是从一个墙(入口)到地板(排气),从天花板(入口)到地板(排气),或者从一个入口墙到对面的排气墙。在这样的系统中,过滤(HEPA)空气使一个均匀的空气通过垂直(下流)或水平(交叉流)模式穿过干净的房间。

层流空气流柜

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