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致谢:这项工作由奥地利联邦气候,环境,能源,流动性,创新和技术以及奥地利联邦数字和经济事务部的资助,并由奥地利WirtschaftService(AWS)和奥地利研究促进机构(FFG)实施,在欧洲共同利益的框架中(iPcecei)(ipcei)框架(ipcei)(ipcei)的框架。IPCEI关于微电子的IPCEI还由来自德国,法国,意大利和英国的公共当局资助。
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