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主要特性 • 写入分辨率低至 2 µ m • 可通过可更换物镜调整写入区域和分辨率 • 兼容 CAD 文件或位图图像 • 兼容 g 线光刻胶 • 兼容多种基材（硅、玻璃、金属、塑料等） • 兼容最大 4 英寸晶圆的任何样品尺寸 • 相机反馈用于对准步骤
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