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50 多年来,许多高科技行业都依赖 Entegris 来确保其技术在整个供应链(从原材料到最终产品)中的保护和纯度。在 Entegris,我们了解污染控制在减少缺陷和提高产量方面的独特挑战。从化学浓度监测到快速准确的测量控制,再到先进的颗粒表征,Entegris 能够提供化学机械平坦化 (CMP) 工艺稳定性监测解决方案,这些解决方案已被证明可以提高产量、设备性能和系统可靠性,从而减少半导体工厂的财务损失和电子设备供应链中的责任。

过程监控解决方案

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