机构名称：
¥ 3.0
然而，一小部分入射离子将经历一次或多次碰撞，从而以不同程度的原始能量逃离表面（反向散射）。无论是植入还是反向散射，它们都可能导致表面或附近的原子被喷射（溅射）。大多数散射粒子在与固体接触时被中和，但那些保留电荷的粒子会根据其能量进行分析，形成国际空间站使用的光谱。（在另一种称为
低能离子散射光谱简介
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