在本研究中，我们提出了几种实验技术来探测模型聚合物材料，以研究特定化学基团对三种关键光刻胶特性的影响：EUV 吸收、电子发射和电子衰减长度 (EAL)。EUV 吸收决定了薄膜吸收光子的效率。总电子产额 (TEY) 提供有关吸收的 EUV 光子转化为电子的信息，而光电子能谱 (PES) 提供有关产生电子的能量和丰度的信息。EAL 对应于将发射电子数量减少到初始值的 1/e 所需的材料厚度。EAL 揭示了电子在光刻胶膜中可以传播的距离，这与电子模糊直接相关。讨论了获得的实验值之间的相关性。