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材料专业知识：用于 SiC 生长的等静压石墨
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材料专业知识：用于 SiC 生长的等静压石墨

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在高温碳化硅蒸汽环境中具有高耐化学性。可通过 TaC 涂层提高耐化学性。高密度石墨可减少碳化硅蒸汽的腐蚀。

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