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温度可控,最高可达 500°C 压力 10 -3 torr 至 1000 psia (70 bar) 最小压力范围 0 至 41 mbar 最大压力范围 0 至 > 1000 psi 压力灵敏度 < 0.41 mbar, 准确度 < 0.10% 测试或控制体积 < 10 cm 3
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