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低温射频 (RF) 等离子体在各种先进技术领域都至关重要,从微型工程到航天器推进系统和高效光源。该主题涉及物理、化学和工程之间的复杂接口。本书主要关注物理学,将引起应用物理学和电气工程研究生和研究人员的兴趣。本书采用了射频等离子体的前沿视角。它还涵盖了基本等离子体物理学,包括有界等离子体中的传输和电气诊断。它的教学风格吸引读者,帮助他们发展物理论证和数学分析。实例将所涵盖的理论应用于现实场景,超过 100 个文内问题让读者将新获得的知识付诸实践,并获得将物理学应用于真实实验室情况的信心。