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机构名称:
¥ 1.0

方法图1示出了传统上用于制造FPC的减成法。在铜箔层上形成抗蚀层,在蚀刻过程中,铜箔层的未覆盖部分被溶解并去除。之后,去除抗蚀层,铜箔层的剩余部分成为线路。在蚀刻过程中,蚀刻不仅在铜箔层的厚度方向上进行,而且在横向(侧蚀)方向上进行,这使得在高密度布线中难以缩小线路间距。此外,由于使用厚铜箔,需要蚀刻大量的铜材料,这导致侧蚀的进展变化很大,因此线路宽度变化很大。此外,蚀刻开始的铜箔层的上部比下部蚀刻得更多,结果,线路横截面的顶部比底部更窄

细间距高纵横比FPC电镀工艺

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