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摘要：氦离子显微镜最近出现为市售仪器。然而，它的根部可以追溯到60多年来，是在柏林的领域离子显微镜的发展，1951年首次报道的。在随后的几年中，许多研究人员追求了气场电离源的发展，目的是为离子显微镜提供合适的来源。这被证明是一个难以捉摸的目标，直到本世纪初，许多发现导致了成功的来源，此后不久，一种可以完全利用其优势的工具。许多人和许多技术进步都聚集在一起，使这类新的显微镜。这项任务的悠久历史以及最近导致这一里程碑的最新进展进行了审查。给出了该技术及其应用的当前状态的简要摘要。扫描33：1-7，2011。R 2011 Wiley Wendericals，Inc。
氦离子显微镜的历史和发展
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