机构名称：
¥ 2.0
为了进行补偿，RCU10 单元将编码器提供的正交输入转换为“分辨率单位”计数脉冲和相关方向（上/下线）。随后是数字缩放电路，允许更改有效分辨率，从而将激光波长相关单位转换为更标准的工程单位。（例如，在机床应用中，633 nm 通常转换为 1 µm。）缩放电路之后，注入器装置允许将“分辨率单位”脉冲添加或减去计数脉冲流。通过缩放和“分辨率单位”脉冲注入的组合来实现补偿。将这些校正应用于反馈后，将其转换为数字正交或模拟正弦/余弦并发送到控制系统。整个过程的延迟小于 2 µs。
高精度激光干涉仪反馈系统
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