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阴极发光技术用于在微观或宏观尺度上识别和量化点缺陷和杂质,这些缺陷和杂质是电子束轰击材料时导致材料发光特性的关键因素。其应用领域包括微电子学、半导体材料、绝缘体、地质学和矿物学……
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