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在本文中,我们讨论了3个示例,其中微透镜可以成为解决光纤阵列和光子积分电路(PIC)之间耦合挑战的有用工具。这项工作中使用的(阵列)通过光孔反射方法实现了(可以单层集成在PIC的背面,或者可以单独地集成在PIC的后侧,或者可以在PIC的设备侧安装。第一个示例涉及在感应图片的背面蚀刻的硅微透镜(在C波段中运行),目的是用于放松的对齐公差,并使设备侧没有接口纤维。第二个示例涉及实施4毫米长的工作距离扩展的梁(30 µm模式场直径,C型波段)界面,用于电信/数据量应用程序,该应用程序也极大地放松了PIC上的GRATINAL耦合器和A纤维阵列之间的横向和纵向对齐公差。最终示例涉及在这个长的工作距离扩展的梁界面中的隔离器的集成。隔离器堆栈由偏振器(0.55 mm厚),非重生法拉第旋转器(485 µm厚的薄膜闩锁Faraday旋转器)和半波板(HWP,91 µm石英)组成。我们获得了宽带操作,表现出非常低的(1至1.5 dB之间)的插入损失和良好的灭绝比(17至20 dB之间)C波段(约1550 nm)

Microlens在光子整合电路上的集成

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