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需要具有适应特性的多孔层,例如,在传感器,执行器和其他具有低介电常数的功能层中,需要进行适应性。化学中,多孔层用于催化剂或过滤。由于多孔材料的内部表面积大,重点是能量转换应用,例如锂离子电池的超级电容器或创新阳极。硅是为此目的的有前途的材料。但是,需要多孔的Si矩阵来补偿充电过程中发生的机械应力和体积膨胀。

薄膜技术用于储能介质

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