微机电系统、微传感器、微型机器人、植入式医疗设备等先进微电子产品的出现,加速了片上微型电化学储能装置的发展。1 – 3 传统的电化学储能装置(如商用锂离子电池和超级电容器)采用夹层式电池结构,由于电池尺寸、外形尺寸和可集成性的限制,难以在某些微系统中应用。4 – 6 定制化的微电化学储能装置具有重量轻、形状多样、超紧凑的特点,可以与微系统集成,满足特定的片上应用需求。7,8 其中,微型锂离子电池(micro-LIB)具有相对较高的能量/功率密度和良好的循环寿命,被认为是微型电源的优选候选者。9 – 11
主要关键词