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图 1.1 MEMS 设备示例 – a) 附有 FPC 和打印头单元的 SeaJet 喷墨打印机芯片 [2];b) Analog Devices 加速度计;c) Accutire 压力传感器;d) Motorola 气体传感器;e) 100 像素红外传感器阵列 [3]
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