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NIST的前身国家标准局(NBS)于20世纪50年代中期开始工作,以满足新兴半导体行业的测量需求。虽然这最初侧重于其他政府机构的晶体管应用,但在20世纪60年代初,该局向美国材料与试验协会(ASTM)和(美国)电子工业协会(EIA)寻求行业指导。ASTM的首要任务是准确测量硅的电阻率。NBS科学家开发了一种实用的非破坏性方法,其精度是以前破坏性方法的十倍。该方法为五项工业标准和广泛用于校准工业测量仪器的电阻率标准参考材料奠定了基础。第二个项目由 EIA 专家小组推荐,旨在解决晶体管的“二次击穿”故障机制。该项目的成果得到了广泛应用,包括解决导致航天飞机发射延迟的主发动机控制问题。

半导体微电子和纳米电子项目

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