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专为半导体自动化打造的大孔径 XY 运动平台
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来源:RoboticsTomorrow NewsU.S.-made direct-drive stage offers 310 × 310 mm travel, nanometer-level resolution, and high-speed motion for precision scanning systems.
For high-precision applications that do not require the ultimate geometric performance of air bearings, PI's new V-700 series of mechanical-bearing XY stages provide an attractive alternative. V-783高精度直线运动平台将长行程、纳米级定位性能和平稳的高速扫描结合在紧凑的单片设计中。它在美国设计和制造，具有 360 × 360 mm 的大孔径，并针对半导体检测、光子对准、计量、成像、激光微加工、生物技术、显微镜、精密装配和先进自动化系统进行了优化。
The V-783 precision positioning system offers 310 × 310 mm travel (12.2 × 12.2 in) in a rigid monolithic XY configuration that delivers greater stiffness and a lower profile than conventional stacked-stage designs based on two individual axes.大开孔支持透射光应用，而直接驱动无刷无铁芯线性电机消除了间隙和机械传动系统效应，实现平稳、高度可重复的运动。
Key Specifications
±0.07 µm 双向重复性和 ±0.17 µm 定位精度
1 nm 编码器分辨率，带增量或绝对编码器选项
速度为 1 m/s，加速度为 10 m/s²
直线度和平面度达 0.75 µm
310 × 310 毫米（12.2 × 12.2 英寸）行程，非常适合 300 毫米晶圆应用
用于透射光和检测系统的 360 × 360 mm 开孔
整体式 XY 设计，负载能力高达 50 kg
An optional absolute encoder provides immediate position feedback after power-up, eliminating homing routines and reducing machine downtime.
高级运动控制器和软件
Industries Served and Applications