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World File Search System图案化
ALS 的 CHiPPS EFRC
高精度图案科学中心 (CHiPPS) 的使命是从根本上理解和控制图案材料和工艺，实现节能、大面积原子级精度的图案化，从而实现未来一代微电子技术（如量子计算、自旋存储器和逻辑器件）的大规模先进制造。
化合物半导体光刻热点的形成机理及控制
关键词：光刻热点、GaAs 蚀刻、SiN 沉积、工艺集成 摘要 光刻技术能否持续对精细几何图形进行图案化，主要挑战之一是整个晶圆和加工场内的最佳焦点存在差异。晶圆图案化侧的这些差异通常是可以理解的，可以很好地表征，并且在选择和优化焦点设置时可以进行校正。然而，晶圆背面的意外和变化的畸形会影响曝光过程中的场平衡（由于基板高度差异而导致的焦点偏移）。这会导致存在污染的地方图案分辨率较差。这些缺陷通常被称为“热点”。在本研究中，研究并表征了一种具有可重复双重像差的故障模式。结果表明，由于一种由 Si x N y 沉积和 GaAs 湿法蚀刻组成的新型集成缺陷模式，形成了意想不到的背面台面。然后，这些台面在金属互连光刻过程中产生热点，导致产量损失 1% 或更多。本研究证明了检测、表征和最小化图案化畸变对于持续改进器件、提高产量和降低化合物半导体制造成本的重要性。引言光刻是半导体行业中不可或缺的技术，是蚀刻、沉积和离子注入的前身[1-4]。保持正确且一致的聚焦和剂量控制对于确保侧壁角度和特征尺寸以满足器件功能和可靠性需求至关重要[2]。因此，先进的光刻技术对于实现器件性能和提高半导体行业的芯片产量至关重要[5]。使用浸没式光刻、双重或多重图案化、分辨率增强技术等创新方法，可以在阿贝衍射极限的几分之一处对器件特征进行图案化[1,6-8]。除了实现更密集的图案化和更小的特征尺寸外，稳健的光刻部署还面临着许多实际挑战[5,9-11]。其中一个挑战是
幻灯片——用于先进晶圆级封装的苯并环丁烯基介电材料的图案化永久键合
Michael Gallagher、Rosemary Bell、Anupam Choubey、Hua Dong、Joe Lachowski、Jong-Uk Kim、Masaki Kondo、Corey O'Connor、Greg Prokopowicz、Bob Barr、陶氏电子材料
超微孔钙方酸盐金属有机骨架的气溶胶喷射打印
金属有机骨架 (MOF) 是具有独特吸附性能的微孔结晶配位聚合物。它们在催化、1 气体存储、2 分离 3 和微电子领域显示出了巨大的潜力。4 作为传感器涂层，它们可以将分析物富集在传感器表面，在某些情况下是选择性的。5,6 然而，由于缺乏简便和通用的沉积和图案化技术，它们的集成受到阻碍。7,8 基于溶液的 MOF 沉积技术，例如化学溶液生长或液相外延，可能会导致腐蚀或污染。4 化学气相沉积可以避免这些风险，9 但受到金属前体的反应性和连接剂的挥发性的限制。已经展示了多种用于 MOF 涂层的图案化方法。减法方法（例如剥离图案化 9,10 或无抗蚀剂直接光刻 11）涉及修改整个基板，这增加了残留物污染的风险。相比之下，加法图案化技术（例如选择性生长 12、微接触 12,13 和喷墨打印 14,15）仅将目标材料沉积在基板的有限区域上。喷墨打印特别
心率 - 响应图案划分不同的阶段...
单细胞油（SCO）对于从生物燃料到营养佐剂，药品应用和有价值产品的生物转换的各种目的具有深刻的兴趣。已显示许多微生物产生并积累了SCO。在本研究中，进行了有条理的尝试，以将潜在的SCO生产者与印度水源分离。来自阿拉伯海的盐水样品和印度冷水河（北阿坎德邦Pindhari河）的淡水样品进行了研究，并研究了出现脂质生产微生物的研究。。通过气相色谱法（GC）研究了由选定分离株组成的脂肪酸的类型，并通过气相色谱/质谱法（GC/MS）确认。脂质谱图表明，这项研究中的分离物在经济和营养上产生了有价值的单不饱和脂肪酸（MUFA），例如棕榈酸和油酸。另外，也可以看到来自阿拉伯海的两个分离株产生有价值的欧米茄3多不饱和脂肪酸（PUFA），例如eicosapentanoic Acid。淡水产生的亚油酸是omega-6 pufa。选定的分离株的生化特征被表征，并通过16S rRNA测序鉴定出分子。ofrnithinibacillus sp。 Marseille-P3601菌株在我们的研究中从冷水河Pindhari，北阿坎德邦发现能够产生PUFA。ofrnithinibacillus sp。Marseille-P3601菌株在我们的研究中从冷水河Pindhari，北阿坎德邦发现能够产生PUFA。
肯尼迪阀如何恢复内部图案制作
第一步 - 模式 - 通常是最困难的。为了使沙子铸造起来，模式必须是完美的。只是一个简单的折痕或错误的地方可以撕裂重压的砂霉菌，模式用于创建和破坏它。或，在铸造后花费的时间将增加以达到所需的最终形状 - 浪费时间和材料。在使用3D打印之前，图案需要极端的交货时间，而经验丰富的工匠模式制造商则努力从手工形成设计。“传统上，将手动路由器，车床和磨坊制成的木制形状混合在一起。模式制作是一个非常高的技能过程，”布鲁克曼说。随着模式制造商变得越来越稀有和昂贵，肯尼迪阀门将流程外包起来更加有意义 - 消除招聘，工资单和设备复杂性的每零件的交易时间和成本更高。
纳米图案的生物启发的单层，序列 - ...
https://doi.org/10.26434/chemrxiv-2023-z6frj-v2 orcid：https：//orcid.org/0000-0000-0001-5060-0766 Chemrxiv不同行评审的内容。许可证：CC由4.0
感光性聚酰亚胺的新进展
感光聚酰亚胺 (PSPI) 作为微电子工业中的绝缘材料引起了广泛关注，并且可以直接进行图案化以简化加工步骤。本文回顾了最近关于 PSPI 的开发工作。在简要介绍之后，描述了典型的 PSPI 配方并与传统方法进行了比较，然后介绍了图案化的主要策略。然后将最近关于 PSPI 的许多报告分为两个主要术语：正性工作和负性工作，并重点介绍了它们的化学性质直至图案形成。除了本综述中提到的 PSPI 的光敏性之外，还讨论了其他重要主题，例如低温酰亚胺化和低介电常数。关键词：感光聚酰亚胺 / 聚酰胺酸 / 感光化合物 / 重氮萘醌 / 光化学放大 / 光酸发生器 / 光碱发生器 / 低温酰亚胺化 /
