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ALS 的 CHiPPS EFRC
机构名称：

ALS 的 CHiPPS EFRC

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高精度图案科学中心 (CHiPPS) 的使命是从根本上理解和控制图案材料和工艺，实现节能、大面积原子级精度的图案化，从而实现未来一代微电子技术（如量子计算、自旋存储器和逻辑器件）的大规模先进制造。

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