与其他过渡金属氧化物相比,RuO 2 具有独特且有前途的性能。RuO 2 因其卓越的异相催化 [1] 和电催化 [2] 能力而闻名。它是一种导电性极强的氧化物(≈ 35 µΩ cm),电阻率与钌金属相当。这种材料的化学和热稳定性增加了它的吸引力。此外,钌的稀缺性和高成本要求我们了解 RuO 2 的微观特性。[3] RuO 2 薄膜具有低电阻率、优异的扩散阻挡性能、高温稳定性和耐化学腐蚀性,在大规模集成电路中有着广泛的应用。[4,5] 除了 Ru 之外,RuO 2 还可用作铜沉积的种子层。 [6,7] 它具有比 Pt 更好的蚀刻能力,这意味着 RuO2 可以借助 O2/CF4 放电中的反应离子蚀刻 (RIO) 轻松图案化。[8] 最近还有研究表明,RuO2 可以作为下一代 Ru 基互连中 Ru 扩散的优异阻挡层。[9]
摘要:本文研究了利用廉价的细通道雾化CVD面对面加热板在c面蓝宝石衬底上生长α-Ga2O3薄膜的方法。由于高温会导致反应器变形,传统的细通道雾化CVD设备采用价格昂贵的抗变形AlN陶瓷作为反应器制作材料,限制了其推广和研究。本文采用面对面加热方式替代传统的单面加热方式,降低了对设备密封性的要求,因此可以用廉价的石英代替昂贵的AlN陶瓷制作反应器,大大降低雾化CVD设备的成本。研究了衬底温度和载气对α-Ga2O3薄膜晶体质量和表面形貌的影响。通过优化制作条件,获得了三角形晶粒,其边缘在原子力显微镜图像中清晰可见。通过吸收光谱分析,我们还发现该薄膜的光学带隙达到了5.24 eV。最后,我们在X射线衍射图中记录到了α-Ga 2 O 3 (0006)衍射峰的半峰全宽值为508角秒。
电子诱导的电子发射通常用二次电子产额 (SEY) 来量化,有时也称为总电子产额 (TEY)。低 SEY 材料或表面旨在减少航天器和卫星的表面充电 [1,2] 以及减轻粒子加速器中电子云的形成。[3–7] 几十年来,为了满足不断发展的技术需求,人们在元素材料表面和化合物中 [7–17] 深入研究了二次电子产额的一次电子能量依赖性以及发射电子的动能分布。对于许多应用,低于 1 的 SEY 最大值足以避免撞击电子的级联倍增。然而,对于其他解决方案而言,进一步降低 SEY 可能会有所帮助,以抑制可能产生背景噪声或使测量信号恶化的反射、背散射和二次电子,例如在电子收集器中,用于测量超高真空 (UHV) 中的低电子电流或用于基于电离的压力计。[18,19]
在过去的二十年中,巨大的努力一直致力于有机光伏(OPV),这导致了单个连接设备的20%功率转化效率(PCE)的破坏屏障。[1-7]最近,非富烯烯低带隙受体材料(NFA)在其热稳定性上受到了极大的关注,[8,9]广泛的吸收率范围,这会导致有效的太阳光子收获,从而导致高输出电流密度,从而降低了非辐射能量损失,从而降低了非辐射能量,从而提供了高度的能量,并提供了较高的能量水平[11,12]和[11,12]和[11,12]和[11,12]。[5,13,14]从设备的角度来看,增强NF-OPV的光电流和光电压是提高光伏性能的最直接策略。[1]此外,众所周知,供体和受体材料之间的分子方向在电荷转移动力学中起着至关重要的作用。[15]因此,NFA的各向异性结构(例如Y6和Y7)确保了有效的π–π相互作用,该相互作用与调谐相位分离的供体匹配。[16]结果,NF-OPV通过用可忽略的驾驶能量分离激子,证明了有效的能力,相对于使用的供体材料的能级,获得了高PCE。[17,18]因此,这些显着的优势,避免了电压损耗和电荷产生之间的权衡行为,[19]提供无障碍的自由电荷产生,抑制了电荷载体重组以及增强所得设备的电荷迁移率。[5,19,20]
本研究采用渐进式划痕试验研究了采用直流磁控溅射制备的 Ni(25 nm)/Cu(25 nm)/Cr(25 nm) 三层薄膜的微摩擦学特性。研究并比较了四种不同类型的薄膜:沉积态薄膜、低能 Ar + 离子辐照后的薄膜、在真空中 450 °С 退火 15 分钟的薄膜以及离子辐照后真空退火的薄膜。划痕试验辅以结构 (XRD) 和化学 (AES) 实验研究。结果表明,在所有研究的薄膜中,离子辐照后退火的样品表现出最好的微摩擦学和耐磨特性。辐照后退火的样品表现出最高的抗划痕性、光滑的划痕形状、最低的峰值切向力值以及没有侧裂纹和薄膜分层。本文讨论了这种行为的可能原因。
高纵横比金属纳米结构通常用于广泛的应用,例如电子计算结构和传感。然而,这些结构中的自热和高温对现代电子设备的可靠性和时钟频率都造成了重大瓶颈。任何显著的能源效率和速度进步都需要纳米结构金属中基本的和可调的热传输机制。在这项工作中,时域热反射用于揭示外延生长的金属 Ir(001) 中介于 Al 和 MgO(001) 之间的跨平面准弹道传输。对于 25.5–133.0 nm 薄膜,热导率范围分别约为 65(96 平面内)至 119(122 平面内)W m − 1 K − 1。此外,外延生长所提供的低缺陷被怀疑可以观察到具有传统电子介导热传输的 20 nm 以下金属中的电子-声子耦合效应。通过结合电热测量和现象学建模,揭示了不同厚度的三种跨平面热传导模式之间的转变及其相互作用:电子主导、声子主导和电子-声子能量转换主导。结果证实了纳米结构金属中未探索的热传输模式,其见解可用于为大量现代微电子设备和传感结构开发电热解决方案。
完整作者列表: 尼古拉耶夫,弗拉基米尔;国立科技大学莫斯科国立合金学院,电子学 波利亚科夫,亚历山大;国立科技大学莫斯科国立合金学院,电子学 斯捷潘诺夫,谢尔盖;国立科技大学莫斯科国立合金学院,半导体电子学与半导体物理学;约飞研究所,异形晶体物理实验室;完美晶体有限责任公司 佩奇尼科夫,阿列克谢;国立科技大学莫斯科国立合金学院,半导体电子学与半导体物理学;约飞研究所,异形晶体物理实验室;完美晶体有限责任公司 亚基莫夫,尤金;国立科技大学莫斯科国立合金学院,半导体电子学与半导体物理学;俄罗斯科学院,微电子技术与高纯度材料研究所 切尔尼赫,阿列克谢;国立科技大学莫斯科国立合金学院,半导体电子学与半导体物理学 瓦西列夫,安东;国立科技大学莫斯科国立合金学院,半导体电子学与半导体物理学 谢梅罗夫,伊万;国立科技研究型大学莫斯科国立合金学院,半导体电子学与半导体物理学 Kochkova,Anastasia;莫斯科国立合金学院,电子学 Guzilova,Lyubov Guzilova;Perfect Crystals LLC Konovalev,Mikhail;莫斯科国立合金学院,电子学 Pearton,Stephen;佛罗里达大学,材料科学与工程
强度有助于确定与相动力学(n、k 和活化能 E a )和伴随生长相关的各种参数。钙钛矿的有效活化能
铁磁薄膜和化学吸附分子层之间的界面表现出各种有趣的现象。[1] 对这些所谓自旋界面的积极研究 [2,3] 始于分子或有机自旋电子器件的发展,最初主要集中在铁磁材料附近引起的分子层的变化。局域 HOMO-LUMO 电子能级的自旋相关展宽 [2,4,5] 和相关的自旋过滤效应 [6–8] 在理解有机自旋阀和其他有机自旋电子器件中起着关键作用。此外,在邻位分子中建立可检测的自旋极化开辟了一个与分子材料中磁序传播相关的新研究领域。这导致分子组成元素上存在磁二向色信号 [9] 或形成自旋序作为分子电子态能量的函数的非平凡振荡。 [10,11]