石墨烯和相关的二维(2D)材料相关的机械,电子,光学和语音性能。因此,对于将其基本激发(激发子,声子)与宏观机械模式搭配的混合系统来说,2D材料是有希望的。与较大的架构相比,这些内置系统可能会产生增强的应变介导的耦合,例如,包括一个与纳米机械谐振器耦合的单个量子发射极。在这里,使用微拉曼光谱法对原始的单层石墨烯鼓上的鼓,我们证明了石墨烯的宏观膨胀振动诱导动力学光学声子软化。这种软化是动态诱导的拉伸应变的明确填充物,在强的非线性驾驶下达到了≈4×10-4的值。这种非线性增强的应变超过了具有相同根平方(RMS)幅度的谐波振动预测的值,多个数量级。我们的工作对2D材料和相关异质结构中光 - 物质相互作用的动态应变工程和动态应变介导的控制有望。
结构,使用实体元素来映射实验台组件,使用面元素来映射覆盖段,基于使用物理缺陷,以小值力的形式,允许正确的计算结果,证明与实验结果令人满意地一致。但必须强调的是,非线性分析是一种多价方法,结果的质量取决于边界条件映射的正确性和正确数值方法集的应用。因此,计算结果绝对应该通过适当的实验进行验证,基于设计过程中未经验证的非线性数值分析结果,导致形成不合格的结构缺陷。
摘要 原子层沉积(ALD)已成为当代微电子工业中不可或缺的薄膜技术。ALD 独特的自限制逐层生长特性使该技术能够沉积高度均匀、共形、无针孔的薄膜,并且厚度可控制在埃级,尤其是在 3D 拓扑结构上。多年来,ALD 技术不仅使微电子器件的成功缩小,而且还使许多新颖的 3D 器件结构成为可能。由于 ALD 本质上是化学气相沉积的一种变体,因此全面了解所涉及的化学过程对于进一步开发和利用该技术至关重要。为此,我们在本综述中重点研究 ALD 的表面化学和前体化学方面。我们首先回顾了气固 ALD 反应的表面化学,并详细讨论了与薄膜生长相关的机制;然后,我们通过比较讨论 ALD 工艺中常用的前体来回顾 ALD 前体化学;最后,我们有选择地介绍了 ALD 在微电子领域的一些新兴应用,并对 ALD 技术的未来进行了展望。
视频渲染限制是源数量限制为同时显示的 4 个源。TX- 340 可选地通过 CAN 2.0B 协议引入显示器远程控制。这款轻薄的显示器通过其中一个远程控制链路(以太网、串行、USB 或 CAN)提供远程控制功能。
摘要。通过等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 方法沉积薄膜是制造 MEMS 或半导体器件的关键工艺。本文全面概述了 PECVD 工艺。在简要介绍 PECVD 反应器的主要层及其应用(例如氧化硅、TEOS、氮化硅、氮氧化硅、碳化硅、非晶硅、类金刚石碳)之后,介绍了这些层。分析了工艺参数(例如腔体压力、衬底温度、质量流速、RF 功率和 RF 功率模式)对沉积速率、膜厚度均匀性、折射率均匀性和膜应力的影响。微机电系统 (MEMS) 和半导体器件的薄膜 PECVD 沉积的主要挑战是优化沉积参数,以实现高沉积速率和低膜应力,这在低沉积温度下是可能的。