ே[1],可以通过缩短光源的波长,改善数值孔径Na并减少过程组合参数来实现光刻的分辨率比。duvl和euvl是光刻技术的两种主要类型。DUVL包括浸入式DUVL和干型DUVL。浸入式DUVL使用ARF作为其光源,其暴露波长为134nm。及其相应的Na为1.35。最先进的沉浸式DUVL可以在7NM技术模式下以及光刻方法的创新使用。将镜头和晶圆之间的空间浸入液体中。液体的反射指数大于1,因此激光的实际波长将大大减少。纯化的水是最常用的,反射指数为1.44。ASML生产了Twinscannxt:2000i在2018年,这是最新一代的Immersion Duvl。其光源的波长为193nm,它的分辨率比将其提高到38nm,并将线宽度降低到7〜5nm。它可用于产生300毫米晶圆。覆盖精度是两个光刻过程之间模式的注册准确性,该图案基于Pauta标准(3σ标准),并影响产品的产量,Twinscannxt:2000i的覆盖精度为1.9nm。它可以每小时生产275块晶圆。干型DUVL还使用ARF作为其照明源,波长仅限于193nm。,其Na为0.93。EUVL的波长仅为13.5nm,其Na为0.33。euvl在生产期间具有明显的优势,复杂性twinscannxt:1460k是最新一代的干duvl,在65nm技术模式下用于半导体市场的基本末端,可生产300毫米晶圆,具有205 WPH的生产率。euvl不需要多次曝光,它只能通过一次暴露才能实现精致的模式。
图4:模拟的角度分散。(a)在1570 nm的波长(电偶极共振模式)波长下,元表面的元表面透射率。(b)在1400 nm(磁模式)波长下具有相同的透射率。(c)磁模式的(b)子图中沿虚线的传输值以及数据的高斯拟合值。
大部分太阳辐射都在可见光谱内。地球和太阳一样,也是一个辐射源,但由于地球温度较低,其辐射波长比太阳长得多(见图 5-2 和 5-3)。来自地球的辐射延伸到红外区域。入射太阳辐射和从地球向太空发出的辐射波长之间的差异是温室效应的基础。大气中化学物质吸收辐射的趋势取决于辐射的波长。某些化学物质在大气中存在时,会与短波长的入射辐射发生轻微反应,但与长波长的出射辐射发生强烈反应。这种与出射辐射的干扰会将能量困在大气中,其中一些能量会重新辐射到地面。
摘要——本文对自由空间光通信系统进行了全面分析。自由空间光通信系统是一种现代化技术,其中表面环境充当发射器和接收器之间的传输介质,为了成功传输光信号,源和目的地都应该在 LOS 中。作为通道的外部环境可以是任何外层空间,可以是真空或适度的空气。FSO 系统通过未授权频段光通信频谱提供有吸引力的带宽增强。FSO 系统中的传输和接收主要依赖于外部通道,即外部环境,因为存在雨(小雨、中雨、大雨)、雾、雪等外部因素。FSO 链路的可靠性在很大程度上取决于外部或表面天气条件,这些条件会衰减在自由空间中传播的光信号强度。随着恶劣天气条件的加剧或加剧,光信号的强度会减弱。对于众多源,可以使用波长多路复用器将各种波长的光信号组合成单个源,同样,在目的地,可以使用波长解复用器分离组合波长的光信号。影响传输系统的其他方面可能包括特定波长或特定波段的光源类型、调制格式、要发送的数据量、使用的光电探测器类型等。特定波长上要传输的数据量以 Mbps 或 Gbps 为单位。这项研究主要侧重于各种天气条件,这些条件在 FSO 系统中起到了障碍作用。天气条件和数据量相结合是决定光信号从发射器到接收器的传输距离的主要考虑因素。通过优化 FSO 系统,它通过降低输出信号中的误码率 (BER) 来最大化源和目的地之间的距离。FSO 系统的最终结论可以通过 Q 因子(即信号质量)和使用眼图分析仪分析眼图来检查。
图 6-5: 氙弧和太阳光光谱 [102] 111 图 AI: TINUVIN 320 结构 129 图 A-2: 吸收光谱 131 图 A-3: 结构 146 图 A-4: 吸光度 146 图 A-5: 搭接剪切 154 图 A-6: 暴露周期 155 图 B-1: 应力与应变 (MET 16) 182 图 B-2: 应力与应变 (K 404) 182 图 B-3: 应力与应变 (I TIN 53) 182 图 B-4: 应力与应变 (MET 23) 183 图 B-5: 应力与应变 (NUV 1) 183 图 B-6: 应力与应变 (K 100) 183 图 B-7: 应力与应变 (NUV 17) 184 图 B-8: 应力与应变 (MET 31) 184 图 B-9: 应力与应变 (NUV 26) 185 图 B-I0: 应力与应变 (MET 4) 185 图 B-ll: 应力与应变 (I TIN 48) 185 图 B-12: 应力与应变 (I TIN 8) 186 图 B-13: 应力与应变 (I TIN 4) 186 图 B-14: 应力与应变 (I TIN 61) 186 图 B-15: 应力与应变 (MET 2) 187 图 B-16: 应力与应变 (I TIN 5) 187 图 B-17: 应力与应变 (MET 17) 187 图 B-18: 应力与应变 (MET 33) 188 图 B-19: 应力与应变 (MET 8) 188 图 B-20: 应力与应变 (I TIN 48) 188 图 B-21: 应力与应变 (MET 6) 189 图 B-22: 应力与应变 (NUV 8) 189 图 B-23: 应力与应变 (NUV 4) 189 图 B-24: 应力与应变 (NUV 28) 190 图 B-25: 应力与应变 (NUV 32) 190 图 C1: (波长与折射率) MET 6 与 MET 192 图 C-2: (波长与折射率) MET 2 与 MET 17 192 图 C-3: (波长与折射率) MET 8 与 MET 17 193 图 C-4: (波长与折射率) NUV 8 与 NUV 16 193 图 C-5:(波长 vs. 折射率) NUV 16 vs. NUV 3 194 图 C-6:(波长 vs. 折射率) NUV 4 vs. NUV 16 194 图 C-7:(波长 vs. 折射率) I TIN 5 vs. I TIN 48 194 图 C-8:(波长 vs. 折射率) I TIN 4 vs. I TIN 48 195 图 C-9:(波长 vs. 折射率) I TIN 8 vs. I TIN 48 195 图 F-1:DCS 扫描显示 Tg (NUV 8) 212 图 F-2:DCS 扫描显示 Tg (I TIN 5) 212 图 F-3:DCS 扫描显示 Tg (MET 6) 213 图 F-4:DCS 扫描未显示 Tg (I TIN 5) 213 图 F-5: DCS 扫描未显示 Tg (MET 6) 214 图 G1:1 NUV 9 216 图 G-2:2 NUV 9 216 图 G-3:1 I TIN 58 217 图 G-4:1 MET 30 217 图 G-5:2 I TIN 58 218 图 G-6:2 MET 30 218
图 6-5: 氙弧和太阳光光谱 [102] 111 图 A-I: TINUVIN 320 结构 129 图 A-2: 吸收光谱 131 图 A-3: 结构 146 图 A-4: 吸光度 146 图 A-5: 搭接剪切 154 图 A-6: 曝光周期 155 图 B-1: 应力与应变 (MET 16) 182 图 B-2: 应力与应变 (K 404) 182 图 B-3: 应力与应变 (I TIN 53) 182 图 B-4: 应力与应变 (MET 23) 183 图 B-5: 应力与应变 (NUV 1) 183 图 B-6: 应力与应变 (K 100) 183 图 B-7: 应力与应变(NUV 17) 184 图 B-8: 应力与应变 (MET 31) 184 图 B-9: 应力与应变 (NUV 26) 185 图 B-I0: 应力与应变 (MET 4) 185 图 B-ll: 应力与应变 (I TIN 48) 185 图 B-12: 应力与应变 (I TIN 8) 186 图 B-13: 应力与应变 (I TIN 4) 186 图 B-14: 应力与应变 (I TIN 61) 186 图 B-15: 应力与应变 (MET 2) 187 图 B-16: 应力与应变 (I TIN 5) 187 图 B-17: 应力与应变 (MET 17) 187 图 B-18: 应力与应变 (MET 33) 188 图B-19: 应力与应变 (MET 8) 188 图 B-20: 应力与应变 (I TIN 48) 188 图 B-21: 应力与应变 (MET 6) 189 图 B-22: 应力与应变 (NUV 8) 189 图 B-23: 应力与应变 (NUV 4) 189 图 B-24: 应力与应变 (NUV 28) 190 图 B-25: 应力与应变 (NUV 32) 190 图 C-l: (波长与折射率) MET 6 与 MET 192 图 C-2: (波长与折射率) MET 2 与 MET 17 192 图 C-3: (波长与折射率) MET 8 与 MET 17 193 图 C-4: (波长与折射率) NUV 8 vs. NUV 16 193 图 C-5:(波长 vs. 折射率)NUV 16 vs. NUV 3 194 图 C-6:(波长 vs. 折射率)NUV 4 vs. NUV 16 194 图 C-7:(波长 vs. 折射率)I TIN 5 vs.I TIN 48 194 图 C-8:(波长 vs. 折射率)I TIN 4 vs.I TIN 48 195 图 C-9:(波长 vs. 折射率)I TIN 8 vs.I TIN 48 195 图 F-1:DCS 扫描显示 Tg (NUV 8) 212 图 F-2:DCS 扫描显示 Tg (I TIN 5) 212 图 F-3:DCS 扫描显示 Tg (MET 6) 213 图 F-4:DCS 扫描未显示 Tg(I TIN 5) 213 图 F-5:DCS 扫描未显示 Tg(MET 6) 214 图 G-l:1 NUV 9 216 图 G-2:2 NUV 9 216 图 G-3:1 I TIN 58 217 图 G-4:1 MET 30 217 图 G-5:2 I TIN 58 218 图 G-6:2 MET 30 218
