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美国商务部向 Edwards Vacuum 提供高达 1800 万美元的资金，用于支持其在纽约州杰纳西县建设一座最先进的绿地制造工厂，以及生产半导体生产所需的干式真空泵。这项投资将有助于为半导体制造提供可靠的国内重要设备供应，是加强美国经济和国家安全的重要一步，因为目前美国国内还没有生产半导体级干式真空泵。这些泵对于先进和传统的半导体制造都至关重要：它们安装在晶圆厂下方，通过抽出有毒烟雾和化学物质来维持晶圆加工室的环境。 ENTEGRIS 直接资助：高达 7700 万美元 科罗拉多州科罗拉多斯普林斯
附录 - CHIPS 项目办公室的成功愿景
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