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摘要 — 植入式传感器具有实时监测和空间映射能力，正成为下一代精准医疗中越来越重要的一个方面。微加工传感器系统是一种流行的选择，因为它们具有小型化、可重复批量生产和大量预先存在的传感器原型的能力。尽管有发展的动力，但将这些传感器封装在体内环境中以及植入过程本身仍然是一个巨大的挑战。本文介绍了微电子测试结构，可用于以标准化方式评估、比较和优化植入式封装解决方案。所提出的结构用于研究：(i) 材料的图案化能力、(ii) 绝缘材料的渗透性、(iii) 封装材料与芯片的粘附性，以及 (iv) 封装对通过针头植入的物理稳健性。它们用于表征使用生物相容性环氧树脂的示例封装策略。此外，还介绍了一种使用测试结构优化封装性能的方法。
用于开发植入式传感器封装的测试结构
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