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• 光刻胶在电子束中的曝光分两步进行 在图案模块 DrawBeam 中设计触点。较大的触点（约 1 mm2）以加载的位图格式定义。较小的触点（百分之几 m2）是使用 DrawBeam 编辑器中预定义的基于矢量的对象创建的。

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