机构名称：
¥ 1.0
显示指数衰减拟合 y = 846.9 nm*e (-x/1174.83nm) ，R 2 = 0.96。（b）1 wt% PVP 以 0.1 mL/hr 喷涂在不同厚度的 Parylene C-on-Si 基板上 60 分钟。由于气相沉积的保形特性，水平误差线不可见。蓝色轨迹是指数衰减拟合 y= 815.6 nm*e (-x/567.4 nm) ，R 2 = 0.98。（c）1 wt% PVP 以 0.1 mL/hr 喷涂在不同厚度的 SU-8-on-Si 基板上 60 分钟。黑色轨迹是指数衰减拟合 y = 804.4 nm*e (-x/348.8 nm) ，R 2 = 0.51。
聚合物模板上的自限制电喷雾沉积
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