机构名称：
¥ 1.0
● 5 轴精密软件控制机械手，精度 2µm（X、Y、Z 轴） ● 样品最大尺寸：直径 32 mm，厚度 7 mm ● 样品加热/冷却温度范围：-100°C 至 800°C ● 磁透镜确保高效收集光电子 ● 光谱横向分辨率 15 µm，并行成像横向分辨率 1 µm ● 检测限 0.1 至 1 原子% ● 深度分辨率：2 至 8 nm ● 使用低能电子进行电荷中和，用于分析绝缘样品
Kratos AXIS Supra X 射线光电子能谱仪
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