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蔡司 MultiSEM 产品信息
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样品等离子清洁器 用于清洁和蚀刻气锁中的样品。减少样品表面污染可提高图像质量和分辨率 生成活性气相自由基，去除不需要的污染物。需要气锁。包括 • 等离子清洁器 Evactron Zephyr • MultiSEM 气锁的多端口 • 多端口适配器套件 • 集成在 ZEN 软件中的控制

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