机构名称：
¥ 1.0
工业状态和观点 • 机器通常诊断能力有限 • 基础研究“耗时太长”且“成本太高”（而是使用反复试验的方法） • 然而，工业界认识到基础研究的好处并愿意合作（CRADAs 与 AMAT、Lam；SPP 与三星）
应用材料与可持续科学
主要关键词
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