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研究与开发 必须开发和改进构成半导体制造的各种材料和加工化学品的精确物理模型,以便为实验提供参考。这应包括故障点,以方便行业进行验证、确认和认证。需要研发将基于物理的模型与数据驱动的推理和决策有效融合的方法,特别是在实验合成和特性生成的小型到中等数据集的情况下。还需要开发人工智能,以便在可持续性和可靠性等所有约束条件下共同优化材料。随着未来外部因素的变化,行业可以快速调整其材料解决方案以适应变化,在动态条件下保持敏捷性和竞争力。
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