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摘要：我们提出了两种用于制造阴影面罩的方法，以将电极蒸发到纳米材料上。在第一个中，我们将商业纤维激光雕刻系统的使用与容易获得的铝箔结合在一起。此方法适用于制造50 µm线宽度和最小特征分离为20 µm的阴影面具，并且使用它来创建具有复杂图案的口罩非常简单。在第二种方法中，我们使用市售的乙烯基切割机对乙烯基模具面膜进行图案，然后使用玻璃纤维来定义电极之间的分离。使用这种方法，我们实现了分隔15 µm的良好的固定电极，但是与基于激光的电极相比，该技术在创建复杂的掩码方面的用途较小。我们通过基于MOS 2制造场效应晶体管设备来证明这些技术的潜力。我们的方法是一种具有高分辨率和准确性的阴影面膜的经济高效且易于访问的方法，使其可用于更广泛的实验室。
纳米电子的低成本阴影面具制造
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