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图 5. 电容器循环。(a) 20nm Al 0.93 B 0.07 N 上 1μm 电容器的形貌。(b) 循环前 (b) 面板上电容器顶部的放大区域，以及循环后 (c)。请注意，循环后电容器边界处发生了电化学反应（面板 (c)）。
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