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•N/A课程描述微电子设备制造的原理。强调微型制动处理和微观设备工艺流动的基础。计算机过程仿真。3个学分分级方案：信函等级课程先决条件 /统一固态设备。如果学生已经服用了EEE 4331。课程目标本课程着重于先进的现代IC处理。我们将详细介绍每个处理步骤，包括氧化，掺杂剂扩散，离子植入，光刻，薄膜沉积和蚀刻。我们将强调这些步骤如何组合以构建现代IC设备。我们还将举例说明如何使用软件包来模拟和建模IC制造的物理和化学。材料和供应费不适用所需教科书和软件
微电子制造技术 - uf ece
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