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摘要 - 在本文中,我们对在长期外国家应力下具有p-gan栅极的gan-on-on-si功率hemt中发生的时间依赖性排水崩溃进行了广泛的研究。尤其是,研究了由高温偏移应力引起的时间依赖性分解,这是不同过程和结构变化的函数。主要结果表明,通过改变门对距离距离(L GD)和场板配置,故障的物理位置也会发生变化。如果L GD相对较短(3 µm),则会通过排水和源之间的GAN通道层发生时间分解。在这种情况下,较薄的GAN层显着改善了长期偏离应力的稳健性。如果L GD相对长(≥4µm),则故障发生在二维电子气体(2DEG)和源场板之间。在第二种情况下,GAN层的厚度和L GD对时间依赖性分解没有显着影响,而可以优化场板长度以减少暴露于高电场的面积,因此限制了故障的可能性。最后,也已经分析了Algan屏障层的作用。如果L GD = 3 µm,则首选较薄的α层,而如果LGD≥4µm,则较低的铝含量的较厚层会增加较长的时间,以使较长的时间在未稳定应力下分解。

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